半导体晶圆加工要求严格控制的环境，通常会涉及严苛的腐蚀性化学气体。 从1994年开始，APS MATERIALS（APS）公司就与全球半导体设备行业的顶级OEM（原始设备制造商）开展了合作。
关键时刻提供保护
硅晶圆和半导体生产需要一个严苛的环境。这种腐蚀性环境会大大缩短用于容纳关键工艺的反应腔室的零部件寿命，威胁到高度敏感产品的质量。整个半导体行业熟知，APS 专注于高质量、高度工程化的喷涂涂层。我们拥有超过25年的经验，运用能够保持零件和涂层无污染的工艺流程，为半导体设备提供保护涂层。
半导体解决方案
在决定晶圆厂输出质量时，涂层的电阻是晶圆加工或 LCD 玻璃制备过程中的一个关键因素。如果没有高质量的涂层，基体腐蚀导致停机并导致昂贵的更换成本只是时间问题。APS开发了多种可供OEM和二级供应商使用的专有涂层。通过涂层对DPS上体腔室、挡板、球阀和闸阀组件以及您的所有半导体设备的保护，可以延长其寿命、提升其性能。
Solutions for Semiconductors
The electrical resistance of a coating is a critical factor during wafer processing or LCD glass preparation when determining fab output quality. Without a high-quality coating, it’s only a matter of time before substrate corrosion causes downtime and leads to expensive replacement costs. APS developed several proprietary coatings used by OEMs and Second-Source suppliers. Protection of DPS upper body chambers, baffles, ball and gate valve components and all of your semiconductor equipment extends their life and improves their performance.
节省时间和金钱
半导体组件上的沉积物、腐蚀或侵蚀最终将导致停机或产品损失。APS Materials Inc.是美国为数不多的利用真空等离子体系统涂覆薄而高黏性涂层的企业之一，且其涂层可通过研磨和叠加以延长使用寿命。您可以从一开始就对设备部件进行涂层处理，而无需在后续的维修上浪费时间和金钱。在保护半导体设备（包括静电卡盘、固定夹约束装置、百叶窗和套管）方面，我们的专业技能无与伦比。
准备好开始了吗？
APS提供持久的保护和恢复服务，令您的设备持续运行。从热喷涂到陶瓷、金属和CeraNode涂层，APS总能找到一套解决方案。请立即联系我们，了解APS如何改变您的业务。
